Pattern Match
パターンマッチの設定
Add Measurement
測長点作成の設定
Add Measurement
Argument で
<dim> が指定されている場合、0.1nm のように数字の後ろに単位を指定することができます。
単位を指定しない場合は [um] として扱われます。
Auto ROI Search Limit
--measure-roi-limit
[<dim>]
(4.0)
ROI 作成のために探索する最大領域サイズを指定します。
ROI Size Limit
--measure-roi-size-limit
[<dim>]
(50.0)
測長時の ROI サイズの上限を指定します。
Group/Name Prefix
--measure-group-prefix
[<str>]
(Site)
測長点のグループのプレフィックスを指定します。
Group/Grouping Only within/Same FOV Size
--measure-group-same-fov
[<on|off>]
(off)
同じ FOV サイズの測長点のみグルーピングするかどうかを指定します。
Group/Grouping Only within/Same Direction
--measure-group-same-direction
[<on|off>]
(off)
同じ方向の測長点のみグルーピングするかどうかを指定します。
Group/Allow for a Single Measurement Point Group
--measure-group-allow-single-point
[<on|off>]
(off)
測長点 1 点だけでグループをつくることを可能にするかどうかを指定します。
Slantline Recontour/Recontour When Measuring Slant Line
--measure-slantline-recontour
[<on|off>]
(on)
任意角の測長点を作成するときに、図形の段差を無視するかどうかを指定します。
Slantline Recontour/Point Tolerance
--measure-recontour-point-blur
[<dim>]
(1.0)
任意角の測長点を作成するときに無視する頂点の許容誤差を指定します。
Slantline Recontour/Median Tolerance
--measure-recontour-median-blur
[<dim>]
(0.01)
任意角の測長点作成時に輪郭抽出を行うときの辺の中点の許容誤差量を指定します。
2-Stage Jog Rounding Tolerances
--measure-jog-tolerance
[<dim1>,<dim2>]
(0.0,0.0)
測長箇所からの許容段差を <dim1> で指定し、許容された図形を平滑化した後さらに平滑化する際の許容段差を <dim2> で指定します。
Ignore Figures Smaller Than
--measure-ignore-width
[<dim>]
(0.0)
測長点作成時に指定サイズ <dim> 以下の図形を無視します。
Search Width Tolerance
--measure-search-width-tolerance
[<value>]
(10.0)
Search Width で Min / Max を指定して測長点を作成するとき、指定座標の線幅に対してどの程度の大きさまでの線幅を探索するのかを指定します [%]。
Target CD Size
--measure-target-cd
[<dim>]
(0.0)
Tone で Target CD Width / Target CD Space を指定して測長点を作成する際の、検索する線幅を指定します。
Tolerance of Target CD Size
--measure-target-cd-tolerance
[<dim>]
(0.0)
Tone で Target CD Width / Target CD Space を指定して測長点を作成する際の、検索する線幅の許容誤差を指定します。
Additional Columns
--measure-additional-column
[<column[:value1[/value2[/...]]]>, ...]
Measurement Panel に追加する任意のカラム名を指定します。
Auto Hole Limit
--measure-auto-hole-limit
[<dim>]
(10.0)
Auto Hole 測長時の最大探索領域を指定します。
Warn When Specified Point Is on a Figure Edge or Its Extension
--measure-warn-on-edge
[<on|off>]
(off)
測長点が図形の辺またはその延長線上に指定されたとき警告メッセージを出力するかどうかを指定します。
Measure Points File/Print Only Single Point to Screenshot
--measure-output-image-only-itself
[<on|off>]
(off)
指定された測長点のみを表示対象としてスクリーンショットを出力するかどうかを指定します。
Area Size Limit
--measure-area-size-limit
[<dim>]
(100.0)
Area 測長および Area by 2 Points 測長の対象図形の最大探索領域を指定します。
LS Detect/Type
--lsdetect-type
[<all|near|far|long|long-near|long-far>]
(all)
LS Detect 実行時の検出優先条件を指定します。
LS Detect/Tolerance/Angle
--lsdetect-tolerance-angle
[<angle>]
(0.0)
LS Detect 実行時の斜め線の角度の許容誤差を指定します [degree]。
LS Detect/Tolerance/Position
--lsdetect-tolerance-position
[<dim>]
(0.0003)
LS Detect 実行で斜め線の頂点の座標の許容誤差を指定します。
LS Detect/Count/Detection Count
--lsdetect-required-count
[<count>]
(0)
LS Detect 実行時の検出数を指定します。
LS Detect/Count/Force to Satisfy Detect Count with Overlap
--lsdetect-force-count
[<on|off>]
(off)
測長点が重複しても、要求数の測長点を作成するかどうかを指定します。
LS Detect/Count/Interval Size When Multiple Count in a Figure
--lsdetect-interval-in-figure
[<dim>]
(2.0)
LS Detect 実行時に 1 つの図形に複数の測長点を作成するときの間隔を指定します。
LS Detect/Group Detected Items
--lsdetect-group-type
[<off|single|single-prune|on|prune>]
(off)
LS Detect した結果をグルーピングする方法を指定します。
LS Detect/Margin
--lsdetect-margin
[<dim>,<dim>]
(0.002,0.0)
測長点から抽出した LS Detect 条件の W, H に設定するマージンを指定します。
LS Detect/Insert Results After Last
--lsdetect-insert-after-last
[<on|off>]
(off)
LS Detect with Item の結果を測長点リストの末尾に追加するかどうかを指定します。off が指定された場合、結果は元の測長点の後ろに追加されます。
Duplicate/Length Tolerance
--measure-duplicate-tolerance
[<value>]
(0)
測長点を複製する時の許容する図形の差を指定します [%]。
Duplicate/Search Retry Range
--measure-duplicate-search-around
[<dim>]
(0)
測長点の複製失敗時に周囲から探索する範囲を指定します。
Screen Display/Name
--measure-item-draw-name
[<on|off>]
(on)
スクリーンに測長点の名前を表示するかどうかを指定します。
Screen Display/Coordinates
--measure-item-draw-coordinate
[<on|off>]
(off)
スクリーンに座標を表示するかどうかを指定します。
Screen Display/Length
--measure-item-draw-length
[<on|off>]
(on)
スクリーンに長さを表示するかどうかを指定します。
Screen Display/Delta Length
--measure-item-draw-delta-length
[<on|off>]
(off)
スクリーンに測長結果の X, Y 成分の長さを表示するかどうかを指定します。
Screen Display/Angle
--measure-item-draw-angle
[<on|off>]
(off)
スクリーンに角度を表示するかどうかを指定します。
Screen Display/Center
--measure-item-draw-center
[<on|off>]
(off)
スクリーンに中点座標を表示するかどうかを指定します。
最終更新 23.04.2025