License

neoEBV は、Free Edition と Photomask Edition の 2 通りのライセンスと、下記の Optional Functions のライセンスがあります。
評価目的のため、一定期間利用可能な Photomask Edition ライセンス, Optional Functions の各種ライセンスを貸し出すことができます。
興味のある方はページ下段のお問い合わせからご連絡お願いします。

Free Edition

  • Available Formats

    EBV TEXT

    GDSII

    GERBER

    OASIS®

    OASIS.CL (SEMI P49)

    OASIS.MASK

  • Available Functions

    各種表示 (*1)

    各種検索 (*2)

    各種計算 (*3)

    2 点間測長

    サスペンド & レジューム

    スナップ

    マルチスクリーン表示とスクリーン間の同期

    レイヤーハイライト表示

    キャッシュの保存、読み込み

    マーク追加

    ノート

    測長点作成 (*4)

    バーコード解析

    画面共有

    論理演算 (*5)

Photomask Edition

  • Available Formats

    Free Edition のフォーマット

    HL

    JEOL

    MBF

    MEBES

    MIC

    OASIS.MBW

    P44MultiFile

    VSB

    対応ジョブデック

  • Available Functions

    Free Edition の機能

    図形切り出し (GDSII, OASIS®, EBV_TEXT)

    各種計算結果のファイル出力 (*3)

    測長レシピ作成 (*4)

    ヘッドレス実行

    JSON RPC コマンドによる GUI 操作 (port 通信)

    コマンドファイル読み込み

(*1) 図形表示、チップライン表示、セルライン表示、ドーズインデックス表示、Axis 表示、Grid 表示、Ruler 表示
(*2) 図形検索、セル検索
(*3) 面積密度計算、図形数計算、頂点数計算とメッシュ状領域への各種計算、ショットカウント計算
(*4) 測長点作成機能のうち、測長レシピ作成に関わる機能には Photomask Edition または Optional Functions のライセンスが必要です。
(*5) 論理演算結果の出力はオプションになります。

Optional Functions

neoEBV は CD-SEM 装置のレシピ作成、入出力に対応しております。
レシピは、GUI の他、入力データと測定する座標、角度を書いたテキストファイルから
コマンドラインで作成することも可能です。
興味のある方はページ下段のお問い合わせからご連絡お願いします。

Advantest CD-SEM recipe creation

  • 測長レシピの入出力

  • GUI からの測長箇所登録

  • テキストファイルからの測長点一括作成

  • 測長カーソルの自動調整

  • 段差のある図形に対しての測長点作成

  • アシスト図形を無視した測長点作成

  • 付近の測長点を 1 サイトにまとめる自動グルーピング

Holon CD-SEM recipe creation

  • 測長レシピの入出力

  • GUI からの測長箇所登録

  • テキストファイルからの測長点一括作成

  • 測長カーソルの自動調整

  • 段差のある図形に対しての測長点作成

  • アシスト図形を無視した測長点作成

  • 付近の測長点を 1 サイトにまとめる自動グルーピング