Measure Points File
測長点作成用テキストファイル
neoEBV は Measure Points File を読み込んで、測長点を配置することができます。
エレメント
Measure Points File はコメント、出力原点、入力原点、アライメントマーク、測長点、測長点グループ、L/S 抽出の条件、実行領域を書くことができます。
- OUT-ORIGIN
- IN-ORIGIN
- MARK
- X, Y, B, A, JX, JY, HX, HY, HB, HS, HL, AREA, <角度を表す数字>
- E, P2P, LSP2P, AREA2P
- MULTI
- LS-COND
- LS-DETECT
- LS-ADD
エレメントと書式
コメント
# が先頭にある行はコメント行として扱います。コメント行はどこに書いても構いません。
# comment
出力原点
出力するマークや測長点の座標原点を表します。Measurement Panel タイトルバーのメニューから Save as Measure Points File を選ぶと、全ての座標はこの原点からの相対座標として出力されます。もし出力原点が Measure Points File に存在しない場合、(0, 0) として扱います。
<ID> OUT-ORIGIN <x (um)>, <y (um)>
入力原点
入力するマークや測長点の座標原点を表します。Measurement Panel タイトルバーのメニューから Load Measure Points File を選ぶと、全ての座標はこの原点からの相対座標として入力されます。もし入力原点が Measure Points File に存在しない場合、(0, 0) として扱います。
<ID> IN-ORIGIN <x (um)>, <y (um)>
アライメントマーク
アライメントマークを作成します。
<ID> MARK <x (um)>, <y (um)>
測長点
測長点を作成します。オプションについては下記 Option の他、各測長モードによっても指定することができます。
<ID> CD <Direction> <x (um)>, <y (um)> [<Option>] [<Screenshot magnification> <Screenshot name>]
| 項目 | 説明 |
|---|---|
| ID | 測長点の名前 |
| Direction | X、Y、B (BOX)、A (Auto Angle) JX (Jog horizontal)、JY (Jog vertical) HX (Hole horizontal)、HY (Hole vertical)、HB (Hole BOX) HS (Auto Hole Short)、HL (Auto Hole Long) C (Corner Round)、V (View) AREA (Area) AREA2P (Area by 2 Points) <角度を表す数字> P が付加されると、ピッチを意味します。 (例：XP、45P) PU が付加されると、Pitch Up-Up を意味します。 (例：XPU、45PU) PD が付加されると、Pitch Down-Down を意味します。 (例：XPD、45PD) AW が付加されると、アシスト Width を意味します。 (例：XAW、45AW) AS が付加されると、アシスト Space を意味します。 (例：XAS、45AS) TW が付加されると、ターゲット Width を意味します。 (X, Y のみ対応 例：XTW) TS が付加されると、ターゲット Space を意味します。 (X, Y のみ対応 例：XTS) TPU が付与されると、ターゲット Pitch Up-Up を意味します。 (X, Y のみ対応 例: XTPU) TPD が付与されると、ターゲット Pitch Down-Down を意味します。 (X, Y のみ対応 例: XTPD) ピッチ、アシスト、ターゲットが指定されていない時は測長箇所が幅かスペースか自動判定して測ります。 JX, JY はピッチには対応していません。 |
| Option | TVALUE=<value (um)> : 期待される測長結果を指定します。 TTONE=<WIDTH|SPACE> : 期待される測長結果トーンを指定します。 JOG_TOLERANCE=<value (um)> : ジョグ測長時に無視する段差のサイズを指定します。 IGNORE_WIDTH=<value (um)> : アシスト測長時に無視する図形 (スペース) の幅を指定します。 FRAME=<width (um)>,<height (um)> : 測長点の中心点を中心とした指定幅、高さの枠を表示します。 ADDITIONAL_COLUMN="<val1,val2,…>" : 追加カラムに設定する値を指定します。追加カラムが存在しない場合は無視されます。 ADDITIONAL_COLUMN の値は " で囲う必要があります。SEARCH_WIDTH=<NONE|MIN|MAX> : 指定座標周辺の最小・最大幅を測長するかどうかを指定します。 JOG_TYPE=<AVE|MIN|MAX> : ジョグ測長のタイプを指定します。 TARGET_CD=<value (um)> : 検索する線幅を指定します。 TARGET_CD_TOLERANCE=<value (um)> : 検索する線幅の許容誤差を指定します。 |
| Screenshot magnification | 測長点の画像の撮影倍率 |
| Screenshot name | 測長点の画像の出力先ファイルパス |
二点を指定する測長
<Direction> に E (Edge-Edge)、P2P (Point-Point)、 LSP2P (Line Space Point-Point)、 AREA2P (Area by 2 Points) を指定する場合は、座標を二つ指定する必要があります。
<ID> CD <Direction> <x (um)>, <y (um)> <x (um)>, <y (um)> [<Option>] [<Screenshot magnification> <Screenshot name>]
測長点グループ
グループ内に作成する測長点グループ名を表します。<Group ID> は CD 内に作られる複数測長点を含む測長点グループです。<Group ID> は CD と異なる必要があります。オプションを指定することができます。オプションについては EMU モード、LMS モードの場合のみ有効です。
EMU モード、LMS モードについての詳細は弊社にお問合せ下さい。
<Group ID> MULTI CD [<Option>]
測長点グループに測長点を作成する場合は CD の代わりに <Group ID> を指定します。
<ID> <Group ID> <Direction> <x (um)>, <y (um)> [<Option>] [<Screenshot magnification> <Screenshot name>]
L/S 抽出条件
L/S 抽出条件を登録します。 オプションについては L/S Detect options を指定することができます。
<ID> LS-COND <Tone> <Direction> <Search type> <Width (um)> <Length (um)> <Distance (um)> [L/S Detect option]
| 項目 | 説明 |
|---|---|
| ID | この条件の名前 |
| Tone | WIDTH (dark) SPACE (clear) AW (微小な Width 部分を無視した Space 測長) AS (微小な Space 部分を無視した Width 測長) |
| Direction | X (水平方向) Y (垂直方向) XY (水平方向と垂直方向) JX (水平方向に Jog の測長点を作成) JY (垂直方向に Jog の測長点を作成) PX (水平方向に Polygon の測長点を作成) PY (垂直方向に Polygon の測長点を作成) 角度を表す数字 (*) |
| Search type | ALL (L/S 抽出結果を順不同で登録します) NEAREST (検索領域の中心に近い順に L/S 抽出結果を登録します) FARTHEST (検索領域の中心に遠い順に L/S 抽出結果を登録します) LONG (L/S 抽出結果の、測長方向と垂直の長さが長い順に L/S 抽出結果を登録します) LONG-NEAR (L/S 抽出結果の、測長方向と垂直の長さが長い順、検索領域の中心に近い順に L/S 抽出結果を登録します) LONG-FAR (L/S 抽出結果の、測長方向と垂直の長さが長い順、検索領域の中心に遠い順に L/S 抽出結果を登録します) |
(*) 斜め方向の抽出を指定する場合は、許容角度誤差 (measure-lsd-angle-tolerance) を指定することで角度誤差を考慮して抽出を行います。ただし、図形のサイズや誤差の指定範囲が大きい場合は正しく抽出できないケースがあります。
L/S 抽出実行
L/S 抽出を行います。条件と抽出範囲を指定します。オプションについては各測長モードによって指定することができます。
<ID> CD LS-DETECT <L/S Detect Condition name> <L/S Detect area (um)> [option command]
| 項目 | 説明 |
|---|---|
| ID | L/S 抽出にて作成される測長結果の名前のプレフィックス |
| L/S Detect Condition name | L/S 抽出で使用する条件の ID 名 |
| L/S Detect area | L/S 抽出範囲 <中心 x 座標 (um)>,<中心 y 座標 (um)>,<範囲 (um)> <左下 x 座標 (um)>,<左下 y 座標 (um)>,<右上 x 座標 (um)>,<右上 y 座標 (um)> |
測長点作成と、その測長点を条件に L/S 抽出条件追加と実行
指定された座標から測長点を作成し、その測長点から、L/S 抽出条件を作成します。L/S Detect area が指定された場合は、作成した測長条件で L/S 抽出を行います。
L/S Detect area を追加した場合、測長点のオプションを指定することができます。
L/S Detect area を追加しない場合は、L/S Detect option を指定することができます。
L/S Detect area を追加した場合
<ID> CD LS-ADD <Direction> <x (um)>, <y (um)> [<L/S Detect area (um)> [<Option>]]
L/S Detect area を追加しない場合
<ID> CD LS-ADD <Direction> <x (um)>, <y (um)> [<L/S Detect option>]
LS-ADD に指定できる Direction
| 項目 | 説明 |
|---|---|
| X | 水平方向に測長点を作成します |
| Y | 垂直方向に測長点を作成します |
| JX | 水平方向に Jog の測長点を作成します |
| JY | 垂直方向に Jog の測長点を作成します |
L/S Detect option
L/S 抽出実行時に適用されるオプションです。 LS-COND, LS-ADD で指定することができます。 LS-DETECT で同名のオプションが指定可能な場合、L/S 抽出実行時には LS-DETECT で指定したオプション値が優先されます。
| 項目 | 説明 |
|---|---|
| LSD_COUNT=<num> | 抽出する測長点数を指定します。 |
| JOG_TYPE=<AVE|MIN|MAX> | ジョグ測長のタイプを指定します。 |
| JOG_TOLERANCE=<value (um)> | ジョグ測長時に無視する段差のサイズを指定します。 |
| IGNORE_WIDTH=<value (um)> | アシスト測長時に無視する図形 (スペース) の幅を指定します。 |
Measure Points File サンプル
アライメントマークと測長点を作成する
# アライメントマークや測長点の座標が、(10, 10) の位置からの相対座標で出力されたことを表す
Out-Origin OUT-ORIGIN 10, 10
# アライメントマークや測長点の座標を、(10, 10) の位置からの相対座標で入力する
In-Origin IN-ORIGIN 10, 10
# アライメントマークを作成
P_1 MARK 7500, 6500
# 0 度の測長点を作成
1 CD X 8450, 6700
# 測長点グループの中に、45 度と 90 度のピッチの測長点を作成
GROUP_1 MULTI CD
2 GROUP_1 45 8450, 6700
3 GROUP_1 YP 8450, 6700
# 0, 90 度の 2 方向の測長点を作成し、1/4 倍の撮影倍率で SS.png にスクリーンショットを保存
4 CD B 8450, 6700 4 SS.png
# 指定した座標の直近の線と垂直方向の測長点を作成
5 CD A 8450, 6700
# 任意の二点間の Line/Space 部分に測長点を作成
6 CD LSP2P 8450, 6700 8450, 9700
# 指定した座標の図形の面積を測定する測長点を作成
7 CD AREA 8450, 6700
# 指定した領域内の図形の面積を測定する測長点を作成
8 CD AREA2P 8450, 6700 8450, 9700
オプションを指定して測長点を作成する
# 0 度の測長点を最大幅の位置に作成
1 CD X 8450, 6700 SEARCH_WIDTH=MAX
# 1 um までの段差を平滑化してジョグ測長を行い、元の図形の最大幅を測長線分とする測長点を作成
2 CD JX 8450, 6700 JOG_TOLERANCE=1 JOG_TYPE=MAX
# 1 um までの図形を無視して、スペースの箇所に 0 度の測長点を作成
3 CD XAW 8450, 6700 IGNORE_WIDTH=1
# 3 um までのスペースを無視して、図形の箇所に 45 度の測長点を作成
4 CD 45AS 8450, 6700 IGNORE_WIDTH=3
# 長さが 1 um の図形箇所に 0 度の測長点を作成
5 CD XTW 8450, 6700 TARGET_CD=1 TARGET_CD_TOLERANCE=0
# 長さが 0.5 um から 1.5 um の間で 1 um に近いスペース箇所に 90 度の測長点を作成
6 CD YTS 8450, 6700 TARGET_CD=1 TARGET_CD_TOLERANCE=0.5
指定した領域から幅や長さを満たす箇所を探して測長点を作成する
# 図形幅や隣接図形との距離が指定した条件を満たす 0 度の測長点を抽出条件として登録
LSD-1 LS-COND WIDTH X ALL W<0.5 1<=L 1<D<2
# LSD-1 の抽出条件を使って、0, 0, 100, 100 の範囲に測長点を作成
1 CD LS-DETECT LSD-1 0, 0, 100, 100
# LSD-1 の抽出条件を使って、-50, -50, 50, 50 の範囲に測長点を作成
2 CD LS-DETECT LSD-1 0, 0, 100
# 外接矩形の幅が 1 um より小さい 0 度の測長点を、0, 0, 100, 100 の領域の Polygon に作成
LSD-2 LS-COND WIDTH PX ALL W<1 0<L 0<D
3 CD LS-DETECT LSD-2 0, 0, 100, 100 JOG_TOLERANCE=0.1,0.1 JOG_TYPE=MAX
指定した座標に作られる測長点から抽出条件を作成し、その条件を満たす測長点を作成する
# (100, 200) の位置の 0 度の測長点から抽出条件を作成
LSD-1 CD LS-ADD X 100, 200
# LSD-1 の抽出条件を使って、0, 0, 500, 500 の範囲に測長点を作成
1 CD LS-DETECT LSD-1 0, 0, 500, 500
# LSD-1 の抽出条件を使って、-50, -50, 50, 50 の範囲に測長点を作成
2 CD LS-DETECT LSD-1 0, 0, 100
# (100, 200) の位置の 90 度の測長点から抽出条件を作成し、その条件で測長点を 2 つ作成
LSD-2 CD LS-ADD Y 100, 200 LSD_COUNT=2
3 CD LS-DETECT LSD-2 0, 0, 500, 500
# (100, 200) の位置の 0 度の測長点から抽出条件を作成し、その条件で 0, 0, 500, 500 の範囲に測長点を作成
LSD-3 CD LS-ADD X 100, 200 0, 0, 500, 520
# (100, 200) の位置の Jog の測長点から抽出条件を作成し、その条件で測長点を 2 つ作成
LSD-4 CD LS-ADD JX 100, 200 LSD_COUNT=2
4 CD LS-DETECT LSD-4 0, 0, 500, 500 JOG_TOLERANCE=1 JOG_TYPE=MAX
# (100, 200) の位置の Jog の測長点から抽出条件を作成し、その条件で 0, 0, 500, 500 の範囲に測長点を作成
LSD-4 CD LS-ADD JX 100, 200 0, 0, 500, 500 JOG_TOLERANCE=1 JOG_TYPE=MAX
最終更新 24.03.2025