CD Results File

neoEBV は 測長結果を CD Results File に出力することができます。

CD Results File は出力原点、アライメントマーク、測長結果の 3 種類で成り立ちます。

出力原点

出力するマークや測長点の座標原点を表します。全ての座標はこの点からの相対座標となります。

<ID> ORIGIN <x (um)>, <y (um)>

アライメントマーク

アライメントマークの座標を表します。

<ID> MARK <x (um)>, <y (um)>

測長結果

測長結果を表します。x と y 座標は測長箇所の中心点です。実際の測長点は # から始まるコメント行に記述されます。

<ID> <Group name> <Direction> <Measure type> <x (um)>, <y (um)> <Length (um)> [<ROI> <File name> <TVALUE Match result> <TTONE Match result> <Additional columns>]

Edge-Edge や Point-Point といった二点を指定する測長結果は以下のように表します。

<ID> <Group name> <Direction> <Measure type> <x1 (um)>, <y1 (um)> <x2 (um)>, <y2 (um)> <Length (um)> [<ROI> <ROI2> <File name> <Additional columns>]

項目	説明
ID	測長点の名前
Group name	測長点の所属するグループ
Direction	X, Y <角度を表す数字> BOX 測長結果の場合、X, Y の 2 行で結果を出力します。 HX, HY D H<角度を表す数字> Hole BOX 測長結果の長さが縦横で同じである場合、D で結果を出力します。 異なる場合は HX, HY の 2 行で結果を出力します。 AREA Length (um) ではなく測定した面積 (um^2) を出力します。
Measure type	WIDTH、SPACE、PITCH、P2P
ROI	ROI の幅と高さ --cd-file-cursor=on の場合のみ出力します。
File name	filename="<path>:<layno>:<datatype>" --cd-file-with-filename=on の場合のみ出力します。
TVALUE Match result	TVALUE_RESULT=<MATCH|MISMATCH> TVALUE が Measure Points File に指定された場合のみ出力します。測長値が指定された値と一致したかどうかを出力します。
TTONE Match result	TTONE_RESULT=<MATCH|MISMATCH> TTONE が Measure Points File に指定された場合のみ出力します。トーン (Measure type が WIDTH であるか、SPACE であるか) が指定された値と一致したかどうかを出力します。
Additional columns	<column1 name>="<column1 value>" [<column2 name>="<column2 value>" …] --cd-file-with-additional-column=on の場合のみ出力します。

Site 情報

サイトの情報を表します。x 座標と y 座標はサイト内に属するすべての測長点の ROI の外接矩形の中心点です。 サイト情報は --cd-file-site オプション が on の場合のみ出力されます。

<ID> <x (um)>, <y (um)>

項目	説明
ID	Site の名前

CD Results File サンプル

Out-Origin ORIGIN 0, 0
P_1 MARK 7500, 6500
# (5520, 4190)
1 CD X WIDTH 5517, 4190 834
# (6973, 6836)
2 CD X PITCH 6880, 7038 200
# Site
Site1 341.503,273.695
# (340.43, 273.63)
3 Site1 X WIDTH 340.487,273.63 0.762
# (342.64, 273.76)
4 Site1 X WIDTH 342.646,273.76 0.508