Shot Count
ショットカウント計算の設定
Shot Count
Argument で
<dim> が指定されている場合、0.1nm のように数字の後ろに単位を指定することができます。
単位を指定しない場合は [um] として扱われます。
Shot Size
--shot-count-shot-size
[<dim>,<dim>]
(0.35,0.35)
ショットカウント計算時に利用するショットサイズの幅、高さを指定します。
Enable Trapezoid Slit Division
--shot-count-trap-slit-division
[<on|off>]
(off)
ショットカウント計算時に台形のスリット分割を有効にするかどうかを指定します。
Trapezoid Slit Width
--shot-count-trap-slit-width
[<dim>]
(0.1)
ショットカウント計算時に台形のスリット分割を行う際の幅を指定します。
Trapezoid Slit Pitch
--shot-count-trap-slit-pitch
[<dim>]
(0.0)
ショットカウント計算時に台形のスリット分割を行う際のピッチを指定します。
最終更新 09.12.2025