Measurement Panel

図形の Line/Space の測長を行うことができます。また、作成した測長点から CD-SEM 装置で利用可能な測長レシピを作成します。測長レシピの作成には別途ライセンスが必要となります。

Measurement Panel のツールバー

Measurement Panel Toolbar

ボタン

アイコン	項目	実行内容
	Recipe Mode	作成する測長レシピのフォーマットを指定します。
	Auto ROI Focus	測長点を作成したときに、測長点がスクリーンの中心にくるように表示領域を移動します。
	Load/Load Measure Points File	データリストに測長点を Load するための Load Measure Points ダイアログを開きます。
	Save/Save as Measure Points File	データリストの測長点を Measure Points File として Save するための Save Measure Points as ダイアログを開きます。
	Save/Save as CD Results File	データリストの測長点を CD Results File として Save するための Save CD Results as ダイアログを開きます。
	Clear All	データリストをクリアします。
	Measurement	Measurement Panel のメニューを表示します。
	Origin	測長レシピの原点を指定します。

スクロールバーボタン

アイコン	項目	実行内容
	最初へ	一番上までスクロールします。
	1 行前へ	一行上にスクロールします。
	1 行後へ	一行下にスクロールします。
	最後へ	一番下までスクロールします。
	一つ前の Bookmark へ	一つ前の Bookmark までスクロールします。(Bookmark が存在するときだけ表示)
	一つ後の Bookmark へ	一つ後の Bookmark までスクロールします。(Bookmark が存在するときだけ表示)

メニュー

メニュー	実行内容
Recipe Mode	作成する測長レシピのフォーマットを指定します。
Auto ROI Focus	測長点を作成したときに、測長点がスクリーンの中心にくるように表示領域を移動します。
Next	スクリーンを次の項目の表示座標に移動させます。
Prev	スクリーンを前の項目の表示座標に移動させます。
Load	データリストに測長点を Load するための Load Measure Points ダイアログを開きます。
Save	データリストの測長点を Save するための Save Measure Points as ダイアログを開きます。
Clear All	データリストをクリアします。
Float Panel	パネルを分離します。
Close Panel	パネルを閉じます。

Measurement タブボタン

アイコン	項目	実行内容
	Direction	Add Measurement モードに変更し、測長方向を指定します。
	Tone	Add Measurement モードに変更し、対象のトーンを指定します。
	Search Width	Add Measurement モードに変更し、Search Width を指定します。
	With Jog	測長対象の辺に凹凸があっても平均化し、直線として扱います。元の線からどの程度離れた線を直線として扱うか指定します。
	Jog Type	Add Measurement モードに変更し、Jog 測長時のタイプを指定します。
	Assist Type	図形があっても無視する大きさを指定します。
	Measurements	Measurements Panel のメニューを表示します。

Measurement タブメニュー

メニュー	実行内容
LS Detect	指定した条件の線分の検索を実行する LS Detect ダイアログを開きます。
Jog Tolerance	測長対象に Jog があっても平均化し、直線として扱います。元の線からどの大きさまでを平均化するか指定します。
Jog Type	Add Measurement モードに変更し、Jog 測長時のタイプを指定します。
Assist Size	線分があっても無視する大きさを指定します。
Direction	Add Measurement モードに変更し、測長方向を指定します。
Tone	Add Measurement モードに変更し、対象のトーンを指定します。
Search Width	Add Measurement モードに変更し、Search Width を指定します。
Save Image	測長点の画像を作成し保存します。

Measurement Panel のデータリスト

Measurement Panel DataList

ソート

データリスト上部のカラム名部分をクリックすることで行をソートできます。もう一度クリックすると逆順でのソートとなります。ソート時にはまずカラム値が数値と文字列に分けられ、それぞれの中でソートが行われます。カラム値が数値の後に文字列が続いている場合は、まず数値部分でソートされ、数値が同じもの同士はその後に続く文字列でソートされます。完全に同じ値があった場合、その順序はソートの前後で維持されます。

Datalist ボタン

アイコン	項目	実行内容
	Icon	各項目のアイコンを左クリックすると Property を表示します。
	Lock	ツールバーでクリアしても削除されないように Lock します。(マウスホバー時のみ表示)
	Bookmark	ブックマークします。 (マウスホバー時のみ表示)

Datalist バッジ

特定の条件下ではデータリストのアイコンに以下のバッジが重なって表示されます。

バッジ	名称	解説
	Image Saved	Save Image 機能を用いて画像が保存済みである場合に表示されます。
	Target Error	Measure Points File に指定されていた期待する値、期待したトーンと測長した値、測長したトーンのいずれか、または両方が一致しない場合に表示されます。

コンテキストメニュー

メニュー	実行内容
Auto Rename	全項目の名称を自動で付け直します。 (ルート要素を指定した場合のみ表示)
Clear All	データリストをクリアします。 (ルート要素を指定した場合のみ表示)
Sort/By Coordinate	測長点を座標で並べ替えます。 (ルート要素を指定した場合のみ表示)
Sort/By Display and Coordinate	表示している測長点を集め、座標で並べ替えます。 (ルート要素を指定した場合のみ表示)
Duplicate	指定した項目を複製するための Duplicate Settings ダイアログを開きます。
Create LS Detect Condition	指定した項目から検索条件を作成し、検索を実行する LS Detect ダイアログを開きます。
LS Detect with Item/Search Around	指定した項目をもとに周辺を検索し、LS Detect を実行します。検索範囲を指定する Search Size ダイアログを開きます。
Pattern Match with Item/Search Around	指定した項目をもとに周辺を検索し、パターンマッチを実行します。検索範囲を指定する Search Size ダイアログを開きます。
Group/Create New Group	指定した項目をまとめてグループ化します。全てをグループ化できない場合は何もしません。
Group/Try Grouping	指定した項目のうち、グループ化可能なものだけをまとめてグループ化します。
Group/Try Grouping & Prune	指定した項目のうち、グループ化可能なものだけをまとめてグループ化し、グループ化できなかったものは削除します。
Group/Ungroup	グループを解除します。
Shift	指定した項目を移動する Shift ダイアログを開きます。
Jump	スクリーンに指定した項目を中心とした領域を表示します。
Start Auto Navigation	指定した項目からオートナビゲーションを開始します。詳しくはオートナビゲーションバーページをご覧ください。
Select/Deselect	指定した項目の選択状態を反転します。
Show	指定した項目の表示状態を反転します。
Display/Name	指定した項目のスクリーン上での名称表示状態を反転します。
Display/Coordinates	指定した項目のスクリーン上での座標表示状態を反転します。
Display/Length	指定した項目のスクリーン上での長さ表示状態を反転します。
Display/X/Y Components	指定した項目のスクリーン上での長さ差分表示状態を反転します。
Display/Angle	指定した項目のスクリーン上での角度表示状態を反転します。
Color	指定した項目のスクリーン上での表示色を変更する色指定ダイアログを開きます。
Lock	指定した項目のロック状態を反転します。ロックしてあるものはツールバー等でクリアしても削除されません。
Bookmark	指定した項目の Bookmark 状態を反転します。Bookmark 済みの物は専用の巡回ボタンで巡回できます。
Move in Tree	指定した項目をリスト内で移動します。
Expand	指定した項目のツリー表示を展開します。
Collapse	指定した項目のツリー表示を折り畳みます。
Expand All	全項目のツリー表示を展開します。
Collapse All	全項目のツリー表示を折り畳みます。
Properties	指定した項目のプロパティを表示する Properties ダイアログを開きます。測長点とグループの両方を指定した場合は、測長点だけが表示されます。
Delete	指定した項目を削除します。

データ保存確認

新たに測長点/アライメントマークを作成するなどの編集を行うとパネルタイトル部に未保存マーク(*)が表示されます。未保存マークが表示されている状態で neoEBV を終了しようとするとデータの未保存を警告するダイアログが表示されます。未保存マークは測長情報を保存したとき、クリアした時と読み込んだときには解消されます。

データ保存確認機能を使用するかどうかはプリファレンスから変更することができます。

詳しくはプリファレンス Window/Data List ページの Confirm Data Save Status before Exit/Measurement をご覧ください。

Measurement Panel

Measurement Panel のツールバー