Inspection File の出力

実行結果をテキストファイルに出力します。

Inspection の結果はテキストファイルに保存することができます。

Inspection Panel の アイコンをクリックすると Save Inspection ダイアログが表示されます。

Save Dialog

ファイル名を指定して OK を押すとファイルが出力されます。 Inspection File は Search 結果、Auto Measure 結果、2p Measure 結果の 3 種類で成り立ちます。

Search の結果を表します。

Search/Figure, Search/OutlinedFigure

<ID> <Type> <Boundary Box(sx (um), sy (um), ex (um), ey (um))> <Dimension (um^2)>

Search/Cell

<ID> <Type> <Boundary Box(sx (um), sy (um), ex (um), ey (um))> <Cell Name>

Auto Measure

Auto Measure の結果を表します。

<ID> <Group name> <Direction> <Measure type> <x (um)>, <y (um)> <Length (um)>

2p Measure

2p Measure の結果を表します。

<ID> <Group name> <Direction> <Measure type> <x1 (um)>, <y1 (um)> <x2 (um)>, <y2 (um)> <Length (um)>

Inspection File サンプル

#Inspection Created nebv VERSION(DATE)
# Search/Figure<
1:_Search/OutlinedFigure OutlinedFigure 7565.0,8080.0,7590.0,8095.0 262.5
# Search/Cell
3:_Search/TOPCELL CELL 0.0,0.0,9000.0,8500.0 TOPCELL
# Search/Figure
4:_Search/RECTANGLE RECTANGLE 7800.0,3200.0,8000.0,3400.0 40000
# Auto Measure (7100.0,4044.0)
5:_MeasureLine Inspection X WIDTH 7550.0,4044.0 900
# 2p Measure (5290.0,3370.0)
6:_Line Inspection 33.0957343 P2P 5290.0,3370.0 7530.0,4830.0 2673.7987957
6:_Line-1 6:_Line 33.0957343 SPACE 5560.6410959,3546.4 196.3227608
6:_Line-2 6:_Line 33.0957343 WIDTH 5809.3784804,3708.52347385 397.4930598
6:_Line-3 6:_Line 33.0957343 SPACE 6137.94012425,3922.67525955 386.8888398
6:_Line-4 6:_Line 33.0957343 WIDTH 6430.86164625,4113.597323 312.4086716
6:_Line-5 6:_Line 33.0957343 SPACE 6951.5668176,4452.98551505 930.6813821
最終更新 17.04.2024