File List
Open されたファイルはこちらに追加されます。チップ、レイヤ単位での表示オンオフの切り替え、ミラー、回転等の表示方法の切り替えなどを行います。
画面と操作方法
neoEBV の操作方法
画面概要
Mini Map
Open している全てのファイルの全体領域およびファイルの向きを表示します。また、現在スクリーンで表示している領域を表示します。
スクリーン
Open しているファイルの図形を表示します。表示領域の拡大、縮小をはじめ、図形やセル情報取得、図形の測長、マーク追加、開口率(密度)計算、ショットカウント計算など様々な機能があります。
Inspection Panel
スクリーンで選択した図形やセル情報、図形の測長情報が表示されます。
Mark Panel
スクリーン上に追加したマークの一覧を表示します。
Calculation Panel
スクリーン上で計算した、図形面積密度、ショットカウントなどの計算結果の一覧を表示します。
Measurement Panel
図形の Line/Space の測長を行うことができます。また、作成した測長点から CD-SEM 装置で利用可能な測長レシピを作成します。測長レシピの作成には別途ライセンスが必要となります。
Matching Template Panel
pattern-match に入力するテンプレートファイルを作成することができます。
Console Panel
メッセージやログを表示します。
Python Panel
Python スクリプトを実行し、neoEBV を操作することができます。
Note Panel
自由にメモを記入することができます。
Help Panel
マウス操作、キーボードショートカットの利用方法を表示します。
About Dialog
neoEBV のバージョン、ソフトウェア利用許諾契約、neoEBV で利用しているライブラリ、ライセンスを表示します。
ツールバー
全体メニューの表示、プリファレンスダイアログの表示、パネルの表示/非表示の切り替えを行います。
ステータスバー
プログレス、マウス位置、neoEBV 内部の通信状況、メモリ使用量を表示します。
オートナビゲーションバー
データリスト中の要素を巡回して表示するオートナビゲーション機能を制御します
プラグイン
Python スクリプトを用いて neoEBV に機能を追加します
最終更新 15.04.2022