対応フォーマット

表示可能なパターンファイルのフォーマット

フォーマット バージョンなど 対応するジョブデック
GDSIIRelease 6.0
OASIS® 1 SEMI P39-1105 P39-0416
OASIS.CL (SEMI P49)SEMI P49-0823
OASIS.MASKSEMI P44-1105, SEMI P44-0709 P44-1216Maly (SEMI P45-0306N, SEMI P45-1218)
MEBESJB, Extended MEBES Jobdeck
JEOLJDK, JDF
HLLot, JTX
MICMaskset
GERBERExtended GERBER Format 2
P10semi p10-0706e
EBV TextSee appendix
MBFMDS
MBW
P44MultiFile
VSBMDS

また、各種 CD-SEM, Metrology 測定レシピフォーマットの入出力に対応しております。

  1. OASIS® is a registered trademark of Thomas Grebinski and is licensed for use by SEMI, San Jose, California

  2. Barco Graphics N.V., Gerber RS-274X Format User’s Guide, Part Number 414 100 014 Rev D March, 2001

最終更新 23.12.2024